高精密衍射光学元件
衍射光栅是一种由密集﹑等间距平行刻线构成的,光学玻璃基底,表面镀金属反射膜,可将白光通过衍射效应分离成各种组分。高品质的刻线衍射光栅可近乎满足所有的衍射需求,特别是在效率要求比较高的时候。衍射光栅可用在各种单色光的研究、教学、以及工业场合,几乎所有的商用分光光度计都使用衍射光栅来选择特殊的波长或扫描整个波长区域。客户可以根据尺寸,纹槽间距以及闪耀波长来选择光栅。这种反射式刻线光栅(闪耀光栅)呈锯齿形,区别于全息光栅。。
纳米制造工艺
自有核心纳米加工产线,包括光刻、蒸镀、裁切、封装等。成熟的关键元件制造工艺,实现消费级衍射光学元件。
![纳米制造工艺-高精密衍射光学元件](../images/product/detail/content61.png)
衍射器件设计
自有DOE设计团队,丰富的衍射光学理论计算和设计经验,可以定制开发各种DOE器件。
![光谱人工智能-高精密衍射光学元件](../images/product/detail/content62.png)
成熟的供应链
长期的硅光半导体产业链管理经验。快速交付和高良品率的保证。
![多项核心技术-高精密衍射光学元件](../images/product/detail/content63.png)
功能参数
产品参数
- 材料:玻璃、玻璃/树脂、金属、硅等
- 最小光栅结构宽度:30nm
- 二维光栅结构形状:矩形、三角形(闪耀光栅)、斜齿
- 三维光栅结构形状:纳米柱、纳米孔
- 光栅结构深宽比:最高可达10:1
- 最大加工面积:12英寸